RF-sputtering i laser CO₂ jako narzędzia do precyzyjnej modyfikacji struktur optycznych

dr inż. Tomasz Ragiń

KFEiTŚ, WE-306, 10:15

Nowoczesne technologie wytwarzania struktur fotonicznych wymagają precyzyjnej kontroli mikrostruktury materiałów. RF-sputtering pozwala na osadzanie cienkich warstw amorficznych, które stanowią bazę dla dalszej obróbki. Kolejnym kluczowym etapem jest laserowa nanokrystalizacja CO₂, umożliwiająca lokalne wytworzenie fazy krystalicznej w obrębie osadzonych warstw. Taki proces pozwala na uzyskanie optymalnych właściwości optycznych i luminescencyjnych, co jest istotne w zastosowaniach mikrolaserowych i systemach detekcji optycznej w zakresie podczerwonym.